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Application of Ar⁺ion implantation for obtaining nanocontacts on the GaP (111) single crystals surface
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Material complementario disponible Artículo DOAJ
Application of Ar⁺ion implantation for obtaining nanocontacts on the GaP (111) single crystals surface
Baltokhodzha Ermatovich Umirzakov et al · Vasyl Stefanyk Carpathian National University · 2026 · ISSN 1729-4428
Ultrathin ohmic contacts were fabricated on GaP(111) single crystals using argon ion (Ar⁺) implantation at an energy of E₀ = 2 keV and a dose of D = 2 × 10¹⁷ cm⁻², under high vacuum conditions (10⁻⁷ Pa). P...
LCC TENDOlBoeXNpY3M~Idioma eng
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