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Structural and optical properties of compensated microcrystalline silicon films
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Structural and optical properties of compensated microcrystalline silicon films
Dussan, A. et al · Sociedad Mexicana de Fisica · 2007 · ISSN 0035-001X
Boron-doped microcrystalline silicon films were deposited in a plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) system using silane (SiH4) diluted in hydrogen, and diborane (B2H6) as a dopant gas. The effects of the Bor...
Idioma Inglés
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