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Silicon quantum wire array fabrication by electrochemical and chemical dissolution of wafers
Artículo
Material complementario disponible Artículo OpenAlex
Silicon quantum wire array fabrication by electrochemical and chemical dissolution of wafers
Leigh Canham · Applied Physics Letters · 1990
Indirect evidence is presented that free-standing Si quantum wires can be fabricated without the use of epitaxial deposition or lithography. The novel approach uses electrochemical and chemical dissolution steps to defin...
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