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Tipos de recurso: Libro electrónico Artículo Revista Tesis Capítulo
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Maskless photolithography for micro- and nanofabrication
Artículo
Material complementario disponible Artículo DOAJ
Maskless photolithography for micro- and nanofabrication
Ziyi Cheng et al · Springer Nature Singapore · 2026 · ISSN 2097-616X
Abstract As a micro- and nanofabrication technique, maskless photolithography (MPL) eliminates static physical masks and instead utilizes computer-controlled light sources and optical systems to directly generate pattern...
LCC TENDOkVsZWN0cmljIGFwcGFyYXR1cyBhbmQgbWF0ZXJpYWxzLiBFbGVjdHJpYyBjaXJjdWl0cy4gRWxlY3RyaWMgbmV0d29ya3M~Idioma eng
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Material complementario
Abrir material Ficha bibliográfica
Hybrid SiO2/Si pillar-based optomechanical crystals for on-chip photonic integration
Artículo
Acceso abierto Artículo DOAJ
Hybrid SiO2/Si pillar-based optomechanical crystals for on-chip photonic integration
Poblet Martin et al · Wiley · 2025 · ISSN 2192-8614
One-dimensional photonic crystal (1D-PhC) pillar cavities allow transducing mechanical pillar vibrations to the optical domain, thereby relaxing the requirements typically associated with mechanical motion detection. In ...
LCC TENDOlBoeXNpY3M~Idioma eng
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Disponible en línea Ficha bibliográfica