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Automated multiphysics MEMS co-optimization platform: Integrated fabrication constraints and accelerated design for high-linearity sensors
Artículo
Acceso abierto Artículo DOAJ
Automated multiphysics MEMS co-optimization platform: Integrated fabrication constraints and accelerated design for high-linearity sensors
Peizhi Yu et al · AIP Publishing LLC · 2026 · ISSN 1672-6030
This paper proposes an innovative automated multiphysics Microelectromechanical systems (MEMS) co-optimization platform integrating the embedded reduced-order modeling offered by Coventor MEMS+ with MATLAB’s numerical ...
LCC TENDOlRlY2hub2xvZ3k~; LCC:Engineering (General). Civil engineering (General)Idioma eng
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Disponible en línea Ficha bibliográfica