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Adaptive reinforcement learning for lithography optimization: a scalable AI-driven solution for next-generation semiconductor manufacturing
Artículo
Material complementario disponible Artículo DOAJ
Adaptive reinforcement learning for lithography optimization: a scalable AI-driven solution for next-generation semiconductor manufacturing
Umar Rashid et al · Nature Portfolio · 2026 · ISSN 2045-2322
Abstract Semiconductor lithography, a pivotal process in integrated circuit (IC) fabrication, accounts for approximately 30% of production costs and faces significant challenges as feature sizes shrink to sub-nanometer s...
LCC LCC:Medicine; TENDOlNjaWVuY2U~Idioma eng
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Hierarchical multi-agent reinforcement learning for retrieval-augmented industrial document question answering
Artículo
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Hierarchical multi-agent reinforcement learning for retrieval-augmented industrial document question answering
Yihong Qian et al · Nature Portfolio · 2026 · ISSN 2045-2322
Abstract Multimodal industrial documents–such as operation manuals, circuit diagrams, and parameter tables–contain domain knowledge distributed across text, images, and document layout. However, most existing retriev...
LCC LCC:Medicine; TENDOlNjaWVuY2U~Idioma eng
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Multi-objective inventory optimization using reinforcement learning: a comparative study on profitability and carbon emissions
Artículo
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Multi-objective inventory optimization using reinforcement learning: a comparative study on profitability and carbon emissions
Abdulrahman Sorour et al · Nature Portfolio · 2026 · ISSN 2045-2322
Abstract Inventory management is a core part of supply chains, and over the years it has been increasingly challenged by the need to balance economic performance with environmental considerations. While prior reinforceme...
LCC LCC:Medicine; TENDOlNjaWVuY2U~Idioma eng
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SecuFL-IoT: an adaptive privacy-preserving federated learning framework for anomaly detection in smart industrial networks
Artículo
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SecuFL-IoT: an adaptive privacy-preserving federated learning framework for anomaly detection in smart industrial networks
Ali Alqazzaz · Nature Portfolio · 2026 · ISSN 2045-2322
Abstract The increasing adoption of Industrial Internet of Things (IIoT) devices introduces significant cybersecurity and privacy challenges, particularly anomaly detection and secure data sharing. This study presents Se...
LCC LCC:Medicine; TENDOlNjaWVuY2U~Idioma eng
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