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Tipos de recurso: Libro electrónico Artículo Revista Tesis Capítulo
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Adaptive reinforcement learning for lithography optimization: a scalable AI-driven solution for next-generation semiconductor manufacturing
Artículo
Material complementario disponible Artículo DOAJ
Adaptive reinforcement learning for lithography optimization: a scalable AI-driven solution for next-generation semiconductor manufacturing
Umar Rashid et al · Nature Portfolio · 2026 · ISSN 2045-2322
Abstract Semiconductor lithography, a pivotal process in integrated circuit (IC) fabrication, accounts for approximately 30% of production costs and faces significant challenges as feature sizes shrink to sub-nanometer s...
LCC LCC:Medicine; TENDOlNjaWVuY2U~Idioma eng
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Material complementario
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Microgravity-activated high-performance van der Waals InSe ferroelectric semiconductor
Artículo
Acceso abierto Artículo DOAJ
Microgravity-activated high-performance van der Waals InSe ferroelectric semiconductor
Rong Jin et al · Nature Portfolio · 2026 · ISSN 2041-1723
Abstract The space microgravity environment, scarcely attainable on Earth, is considered to have a positive effect on crystal growth, especially the van der Waals layered materials with low interlayer sliding energy barr...
LCC TENDOlNjaWVuY2U~Idioma eng
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