Application of Ar⁺ion implantation for obtaining nanocontacts on the GaP (111) single crystals surface
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Ultrathin ohmic contacts were fabricated on GaP(111) single crystals using argon ion (Ar⁺) implantation at an energy of E₀ = 2 keV and a dose of D = 2 × 10¹⁷ cm⁻², under high vacuum conditions (10⁻⁷ Pa). P...
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