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Impact of Post-Deposition Heat Treatment on the Microstructure and Mechanical Properties of Boron Nitride Thin Films Prepared by Radio Frequency Magnetron Sputtering
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Impact of Post-Deposition Heat Treatment on the Microstructure and Mechanical Properties of Boron Nitride Thin Films Prepared by Radio Frequency Magnetron Sputtering
Mukhtiar Singh et al · Vasyl Stefanyk Carpathian National University · 2025 · ISSN 1729-4428
The effects of post-deposition heat treatment on the microstructure and mechanical properties of boron nitride thin films deposited on 316L stainless steel substrates via radio frequency magnetron sputteringwere investig...
LCC TENDOlBoeXNpY3M~Idioma eng
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