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Fabrication of highly homogeneous and controllable nanogratings on silicon via chemical etching-assisted femtosecond laser modification
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Acceso abierto Artículo DOAJ
Fabrication of highly homogeneous and controllable nanogratings on silicon via chemical etching-assisted femtosecond laser modification
Huang Ji et al · Wiley · 2019 · ISSN 2192-8606
Femtosecond laser direct writing is widely exploited in surface periodic structures processing. However, this technique still faces challenges in obtaining high surface homogeneity and flexible morphology controllability...
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