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Micro and Nano Engineering
Artículo
Material complementario disponible Artículo DOAJ
Micro and Nano Engineering
Elsevier; Netherlands · ISSN 2590-0072
Materias / palabras clave: nanotechnology, microelectronics, nanolithography, nanometrology, nanofabrication, microdevices; Technology: Electrical engineering. Electronics. Nuclear engineering: Electronics; Technology: Technology (General)
Idioma English
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