Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis

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Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis

Kopf, Marlene · KIT Scientific Publishing

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Autor / responsable

Kopf, Marlene

Editorial

KIT Scientific Publishing

ISBN

9783731511212

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Kopf, M. s. f, Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis, KIT Scientific Publishing, available at: https://nodovox.com/record.php?id=154038 [Accessed 29 Jun. 2026].

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Título: Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis

Autor / colaboradores: Kopf, Marlene

Editorial: KIT Scientific Publishing

ISBN: 9783731511212