X-ray optics made by X-ray lithography: Process optimization and quality control

Koch, Frieder Johannes · KIT Scientific Publishing

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Autor / responsable

Koch, Frieder Johannes

Editorial

KIT Scientific Publishing

ISBN

9783731506799

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Koch, F. J. s. f, X-ray optics made by X-ray lithography: Process optimization and quality control, KIT Scientific Publishing, available at: https://nodovox.com/record.php?id=186547 [Accessed 29 Jun. 2026].

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Título: X-ray optics made by X-ray lithography: Process optimization and quality control

Autor / colaboradores: Koch, Frieder Johannes

Editorial: KIT Scientific Publishing

ISBN: 9783731506799