Development of CMOS-MEMS/NEMS Devices

Verd, Jaume · MDPI - Multidisciplinary Digital Publishing Institute

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Autor / responsable

Verd, Jaume

Editorial

MDPI - Multidisciplinary Digital Publishing Institute

ISBN

9783039210695;9783039210688

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Verd, J. s. f, Development of CMOS-MEMS/NEMS Devices, MDPI - Multidisciplinary Digital Publishing Institute, available at: https://nodovox.com/record.php?id=201436 [Accessed 29 Jun. 2026].

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Título: Development of CMOS-MEMS/NEMS Devices

Autor / colaboradores: Verd, Jaume

Editorial: MDPI - Multidisciplinary Digital Publishing Institute

ISBN: 9783039210695;9783039210688