Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen

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Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen

Teutsch, Michael · KIT Scientific Publishing

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Autor / responsable

Teutsch, Michael

Editorial

KIT Scientific Publishing

ISBN

9783731500261

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Título: Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen

Autor / colaboradores: Teutsch, Michael

Editorial: KIT Scientific Publishing

ISBN: 9783731500261