Chapter Spatial Atomic Layer Deposition

Jiménez, Carmen · InTechOpen

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Jiménez, Carmen

Editorial

InTechOpen

ISSN

10.5772/intechopen.82439

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Jiménez, C. s. f, Chapter Spatial Atomic Layer Deposition, InTechOpen, available at: https://nodovox.com/record.php?id=208093 [Accessed 30 Jun. 2026].

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Título: Chapter Spatial Atomic Layer Deposition

Autor / colaboradores: Jiménez, Carmen

Editorial: InTechOpen

ISSN: 10.5772/intechopen.82439