Diseño y caracterización de un sistema de pulverización catódica DC para la deposición de películas delgadas de tierras raras y metales de transición Design and characterization of a DC sputtering system for deposition of thin fi lms of rare earth and transition metals

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Diseño y caracterización de un sistema de pulverización catódica DC para la deposición de películas delgadas de tierras raras y metales de transición Design and characterization of a DC sputtering system for deposition of thin fi lms of rare earth and transition metals

[Universidad Del Tolima] · 2009

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Editorial

[Universidad Del Tolima]

Año

2009

ISSN

1909-4841

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Título: Diseño y caracterización de un sistema de pulverización catódica DC para la deposición de películas delgadas de tierras raras y metales de transición Design and characterization of a DC sputtering system for deposition of thin fi lms of rare earth and transition metals

Autor / colaboradores: [Universidad Del Tolima]

Editorial: [Universidad Del Tolima]

Año de publicación: 2009

ISSN: 1909-4841

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