Laser Formation of Periodic Micro- and Nanostructures on the Surface of Monocrystalline Silicon

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Laser Formation of Periodic Micro- and Nanostructures on the Surface of Monocrystalline Silicon

I. A. Mohylyak et al · Vasyl Stefanyk Carpathian National University · 2020

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Autor / responsable

I. A. Mohylyak et al

Editorial

Vasyl Stefanyk Carpathian National University

Año

2020

ISSN

1729-4428

ISSN

1729-4428

Idioma

eng

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Experimental studies of the features of the formation of laser-induced periodic nanostructures on the surface of silicon wafers in the zones of action of second, millisecond and nanosecond laser pulses are conducted in the work. The results of microscopic investigations by optical and electron microscopes of periodic structures formed on surfaces with crystallographic orientation (111), (100) are presented. The obtained results can be used to optimize the laser pulse mode for controlled micro- nanostructuring of the semiconductor surface.

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al, I. A. M. E. (2020). Laser Formation of Periodic Micro- and Nanostructures on the Surface of Monocrystalline Silicon. https://doi.org/10.15330/pcss.21.2.215-218

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al, I. A. Mohylyak et. "Laser Formation of Periodic Micro- and Nanostructures on the Surface of Monocrystalline Silicon." 2020. https://doi.org/10.15330/pcss.21.2.215-218.

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al, I. A. Mohylyak et. 2020. "Laser Formation of Periodic Micro- and Nanostructures on the Surface of Monocrystalline Silicon.". https://doi.org/10.15330/pcss.21.2.215-218.

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al, I. A. M. E. 2020, Laser Formation of Periodic Micro- and Nanostructures on the Surface of Monocrystalline Silicon, Vasyl Stefanyk Carpathian National University, available at: https://doi.org/10.15330/pcss.21.2.215-218 [Accessed 28 Jun. 2026].

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Título: Laser Formation of Periodic Micro- and Nanostructures on the Surface of Monocrystalline Silicon

Autor / colaboradores: I. A. Mohylyak et al

Editorial: Vasyl Stefanyk Carpathian National University

Año de publicación: 2020

ISSN: 1729-4428

ISSN: 1729-4428

Idioma: eng

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